主要技术指标

1.微聚焦单色化小束斑XPS（小面积XPS）：单色X射线AlKαX射线，能量分辨高（≤0.5eV），空间分辨高（≤20μm），灵敏度高（Ag3d5/2峰强至2.5Mcps），样品损伤小，样品用量少； 2.Mg/Al双阳极XPS：灵敏度高，分析速度快，可迅速获得样品表面大面积的平均信号。可对样品进行MgKα、AlKα两种X射线的交替XPS分析。最佳灵敏度达13Mcps； 3.XPS深度剖析：计算机控制对中，旋转样品台，可提高深度分辨、消除阴影，对导体和非导体样品（磁性样品除外）进行深度剖析，类似俄歇电子能谱（AES）深度剖析； 4.化学组分成像（Mapping）分析：组分元素及其化学态空间二维分布，空间分辨小于等于3μm，成像速度快，实时还原所记录的谱图，更有利于样品表面组分元素及其化学态的微区分布分析研究； 5.样品表面惰性离子清洁：小束斑（不大于20μm）至大束斑（Φ200μm以上）可调。

主要功能/应用范围

1.微聚焦单色化小束斑XPS（小面积XPS）：高分辨表面元素及其价态分析； 2.Mg/Al双阳极XPS：高灵敏度表面元素分析，成像分布，特殊分析； 3.XPS深度剖析：薄膜材料和界面分析； 4.化学组分成像（Mapping）分析：元素及价态面分布； 5.样品表面惰性离子清洁：清洁样品表面污染层； 6.附带离子散射谱（ISS）、紫外光电子能谱（UPS）、场发射俄歇电子能谱和扫描俄歇显微镜（AES和SAM）和高温高压原位反应池； 7.具有荷电中和器和深度剖析离子枪等。

服务内容

化学组分成像（Mapping）分析；元素及价态面分布

服务的典型成果

无

对外开放共享规定

国务院2014年70号文件和《河北师范大学大型仪器开放管理办法》

参考收费标准

详询接样室，联系电话：0311-80786310