河北北方学院
性质:
地址:河北省张家口市经开区钻石南路11号
电话:0313-4029300
传真:0313-4029101
仪器名称:磁控溅射系统
规格型号:JGP-560
分 类:其他
应用领域:物理学
所属单位:河北北方学院
来 源:河北省大型科研仪器设备资源开放共享服务平台
产 地:中国
厂 商:中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司
价 值:143.4万
购置日期:2010-11-20
使用状态:
主要技术指标
JGP-560,真空室尺寸:梨型真空室,真空系统配置:分子泵、机械泵、闸板阀,极限压力:≤2.0x10-5Pa (经烘烤除气后) ,恢复真空时间:40分钟可达到6.6x10-4Pa (系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气),样品尺寸:Ф65mm,可放置4片,加热基片加热最高温度:500°C±1°C 。
主要功能/应用范围
用于单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备,广泛的应用于高等院校、科研院所的薄膜材料科研。
服务内容
用于开展ZnO等薄膜的实验制备
服务的典型成果
对外开放共享规定
科研合作共享
参考收费标准
不收费
仪器联系人: | 王延峰 | 联系电话: | 0313-4029189 |
电子邮箱: | 传 真: |