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多功能物理气象沉积系统

仪器名称:多功能物理气象沉积系统

规格型号:QHV-RCT400C

分  类:电子产品通用工艺实验设备

应用领域:化学  物理学  

所属单位:河北大学

来  源:河北省大型科研仪器设备资源开放共享服务平台

产  地:中国

厂  商:沈阳奇汇真空技术有限公司

价  值:144万

购置日期:2015-01-19

使用状态:

资源信息

主要技术指标

蒸发室极限真空::6×10-6Pa;(经过烘烤后) 装片室极限真空::1×10-4Pa;(经过烘烤后) 蒸发室抽速:40分钟可达到7x10-4Pa(系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气)。 蒸发室漏率:系统停泵关机12小时后,系统真空度≤10Pa。 样品台加热:室温~700 oC,精度+/-3 oC

主要功能/应用范围

主要用于各种材料的物理化学性能研究实验及新材料、新膜系的原理研究实验,可以蒸发铜、金、硒、硫、硒化锑等金属非金属材料。

服务内容

待定

服务的典型成果

暂无

对外开放共享规定

暂无

参考收费标准

暂无

联系信息
仪器联系人: 李志强 联系电话: 0312-5079354
电子邮箱: lizq116@163.com 传  真:
评价信息