单位
河北大学
性质：
地址：河北省保定市北市区五四东路180号
电话：
传真：
卷绕式磁控溅射薄膜沉积系统
仪器名称：卷绕式磁控溅射薄膜沉积系统
规格型号：MSP-6100F
分 类：电子产品通用工艺实验设备
应用领域：物理学
所属单位：河北大学
来 源：河北省大型科研仪器设备资源开放共享服务平台
产 地：中国
厂 商：北京创世威纳科技有限公司
价 值：66万
购置日期：2014-04-04
使用状态：
资源信息
主要技术指标
基材幅宽：350mm；极限真空：5×10-5 Pa；孪生磁控溅射靶，靶面尺寸550mm×80mm；张力控制范围0~100N，控制精度±2%；工件加热：加热温度450℃，控温精度±1℃；镀膜横向不均匀性：≤ 5%。
主要功能/应用范围
可在柔性基材上利用磁控溅射技术实现卷对卷连续镀膜。
服务内容
待定
服务的典型成果
暂无
对外开放共享规定
暂无
参考收费标准
暂无
联系信息
| 仪器联系人： | 于威 | 联系电话： | 0312-5079354 |
| 电子邮箱： | yuwei@hbu.edu.cn | 传 真： |
评价信息